Keramické substráty z nitridu křemíku (Si₃N₄) jsou stále více používány v EV, IGBT, SiC napájecích modulech a systémech pro uchovávání energie díky jejich vynikající odolnosti proti tepelným šokům a mechanické pevnosti.
Tradiční výroba obvykle vyžaduje samostatné stroje pro vrtání, rýhování a řezání obrysů, což vede k opakované manipulaci, vícenásobnému zarovnání a vyšším výrobním nákladům.
Naše integrovaná platforma pro laserové zpracování dokončuje tyto operace v jediném nastavení, snižuje manipulaci, zlepšuje polohovou přesnost a zjednodušuje výrobu.
Jedna platforma, více procesů
Po jednorázovém-vakuovém upnutí a vyrovnání CCD může stroj automaticky provádět:
›››Laserové vrtání
›››Laserové rýhování
›››Řezání kontur
Použití jednoho souřadnicového systému během celého procesu minimalizuje chyby seřízení a snižuje riziko odštípnutí nebo skrytých trhlin způsobených opakovanou manipulací.
Dvě možnosti laseru
150W vláknový laser QCW
Ideální pro:
›››Řezání kontur
›››Oddělení panelů
››› Drážkování
›››Si₃N₄ substráty střední{0}}tloušťky (0,4–1,2 mm)
Výhody
›››Není nutný uhlíkový povlak
›››Vysoká účinnost řezání
›››Optimalizované vrstvené řezání pro snížení tepelného namáhání
355nm UV nanosekundový laser
Ideální pro:
›››Přesné mikrovrtání
›››Jemné rýsování
›››Tenké substráty (0,1–0,8 mm)
›››Keramické obaly-o vysoké hustotě
Výhody
›››Malá oblast ovlivněná teplem{0}}
›››Stěny s hladkými otvory
›››Lepší kvalita hran
›››Vyšší přesnost pro mikro funkce
Volitelná automatizace
Volitelně je k dispozici automatické nakládání a vykládání.
Zákazníci si mohou zvolit ruční načítání pro prototypování nebo přidat automatizační modul pro velko-objemovou, nepřetržitou výrobu s:
›››Vícevrstvé{0}}časopisy
›››Manipulace s vakuem
›››Automatický sběr
›››MES připojení
Navrženo pro nitrid křemíku
Aby se snížilo tepelné namáhání během obrábění, systém obsahuje:
›››Vakuové sklíčidlo
›››Vysokotlaký-asistence dusíku
›››Vodou{0}}chlazený pracovní stůl
›››Strategie obrábění vrstev-po{1}}vrstvě
Tyto vlastnosti pomáhají zlepšit stabilitu obrábění a snižují tvorbu trhlin.
QCW vlákno vs. UV laser
| Funkce | Vlákno QCW | 355nm UV |
| Obrysové řezání | ★★★★★ | ★★★☆☆ |
| Mikrovrtání | ★★☆☆☆ | ★★★★★ |
| Laserové rýhování | ★★★★★ | ★★★★★ |
| Tenké substráty | ★★★☆☆ | ★★★★★ |
| Nejlepší pro | Vysokorychlostní-řezání | Vysoce přesné obrábění |
Aplikace
Platforma je vhodná pro:
›››Nitrid křemíku (Si₃N₄)
›››Alumina (Al₂O₃)
››› Nitrid hliníku (AlN)
Typické aplikace zahrnují IGBT moduly, SiC napájecí zařízení, EV elektroniku, systémy pro ukládání energie, průmyslové napájecí moduly a RF keramické obaly.
Závěr
Díky vrtání, rýhování a řezání v jediném nastavení zjednodušuje integrovaná laserová platforma výrobu nitridu křemíku a zároveň zlepšuje přesnost a snižuje manipulaci.
K dispozici buď s a150W QCW vláknový lasernebo a355nm UV nanosekundový laser, poskytuje praktické řešení jak pro-velkoobjemovou výrobu, tak pro přesné keramické zpracování.(K dispozici je bezplatné testování vzorků. Dotazy jsou vítány.)
